【微电子机械技术的发展研究】 微电子机械

微电子机械技术的发展研究

一、微电子机械技术发展的概况 微电子机械技术具有体积小、可靠性强、重量轻以及工作速度快等特 点。微电子机械技术是根据集成电路为核心的半导体器件发展起来的一项新型技 术。微电子机械技术的发展推动了电子信息时代的进步以及社会工业化的革新。

微电子机械技术是微电子技术和微加工技术的结合体。在认识微电子机械技术的 过程中还应当要对微加工技术和微电子技术有相应的了解。在微电子机械技术发 展之前就已经有科学家从事了相应的电子元器件制造、设备维护、质量控制和半 导体芯片等工作。这些工作的进行对探索集成电路为核心的电子技术发展中具有 促进作用。微型机械系统可以完成其他电子技术所不能完成的任务。微型技术与 微型机械相互结合使得种类繁多的微型器件相继问世。这些器件的批量生产广泛 的运用于生活的各个方面。微电子机械技术的产生为各行各业发展带来了巨大的 前景。微电子机械技术在电子技术发展的领域中具有极强的灵活性。其发展不仅 带动了科学技术的进步，还在一定程度上促进了国民经济的增长。微电子机械技 术为技术和工艺提供了一个全新的发展空间。

二、微电子机械技术发展面临的问题 1965年GordonE.Moore作为Intel公司创始人之一，他根据1C芯片发展 的规律曾预言了摩尔定律。该定律的预言使得半导体技术发展成为一种可能。当 前，集成电路的主要技术为8英寸的0.25um,同时12英寸的0.18um技术发展也已经 渐渐成熟，随着科学技术的发展0.15um、0.13um产品己开始投产，正在向0.10pm 前进，按照微电子技术这种发展速度，微电子技术发展的速度比预期的还要快。

随着微电子技术的发展，使得微加工技术发展的进程加快。微型加工技术是微电 机械技术发展的一个关键性技术。LIGA加工、准LIGA加工和硅加工在随着微电 子技术的发展朝着更复杂和更高深度的方向发展。微加工技术的发展使得加工技术对材料的要求进一步提髙。我国微型加工技术分别在航空、环境、生物学等领 域中广泛运用。如今，微电子机械技术的发展能力在进步的过程中实现了产品非 常小的愿望。采用微电子机械技术生产的产品较其他方式产生的产品具有一定的 优越性。但是，在我国微电子机械技术不断发展的过程中，微电子机械技术在发 展的过程中同样存在一定的问题。其呈现的问题主要有以下几点：首先，由于微 电子机械技术并不是传统的机械，其无论是在概念上还是在尺度上远远超出了传 统机械运用。导致其在设计和制造方面存在一定的问题。其次；
微型机械技术生 产的产品具有微小化的特征，使得在生产中存在较大的难度，导致微电子机械技 术的产品需要经过专业化的处理才能够被理解和运用。最后，微电子机械技术的 发展是在微型电子的发展基础上发展起来的。因此，微电子机械技术的发展始终 以微电子技术的发展为前提。

三、微电子机械技术在我国发展的现状和对策 我国在微电子技术发展方面较其他国家落后。但是，在我国微电子机 械技术不断发展的过程中，太细的微电子机械并不影响我国电子机械的发展。当 前，我国半导体工艺加工水平已经完全满足微电子机械技术发展的要求。同时， 根据原有硅基压力传感器和相应的石英加速器，使得我国在微电子机械技术发展 的过程中，把握微电子技术发展的方向，结合国外发展的经验，将我国微电子机 械技术发展的更为先进。当前，我国科学技术与国外相比存在一定的差距。差距 的产生不仅仅是科学技术水平的原因，还存在一定的原因就是国家应当加大相应 的资金投入，鼓励我国微电子机械技术的发展。微电机械技术的发展对我国科学 技术的发展具有重要的促进作用。为能够保证其他科学技术能够获得更好的发展， 微电子机械技术的发展必不可少。唯有加大资金的投入，培养更多更优秀的人才， 促进微电机械技术的发展，才能够更好的促进我国各方面的发展。

四、结束语 微电机械技术的发展给我们的生活带来了翻天覆地变化。无论是从科 研成果方面还是科技创造方面都已经取得了较为满意的成绩。

朱光霞 (铜陵市中等职业技术教育中心，安徽铜陵244000)